技術編號:8888667
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。介質阻擋放電是有絕緣介質插入放電空間的一種氣體放電,又稱為無聲放電。與電暈放電和電弧放電相比,介質阻擋放電產生的非熱平衡態冷等離子體的溫度、密度適中。同時,介質阻擋放電容易實現大面積均勻放電,因此非常有利于大規模工業應用,尤其適用于大規模材料表面處理。此外,介質阻擋放電還被廣泛應用于臭氧產生、薄膜生長、等離子體刻蝕、殺毒滅菌、生物醫學、等離子體顯示等領域。由此可見,大氣壓下介質阻擋放電作為產生大氣壓非平衡等離子體重要方式之一,對其進行研宄有著深遠意義。介質...
注意:該技術已申請專利,請尊重研發人員的辛勤研發付出,在未取得專利權人授權前,僅供技術研究參考不得用于商業用途。
該專利適合技術人員進行技術研發參考以及查看自身技術是否侵權,增加技術思路,做技術知識儲備,不適合論文引用。
該類技術注重原理思路,無完整電路圖,適合研究學習。