技術編號：8755526
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。LED刻蝕機集成了高密度等離子源、快速響應的全自動匹配射頻系統、精密的腔室溫度控制系統、穩定的高精度壓力控制系統、先進的中央噴嘴進氣系統和獨特的腔室表面處理等多項先進技術，用IC刻蝕工藝更為精密的設計要求來實現LED領域更高性能的刻蝕工藝，可以適應不同客戶的不同規格圖形片要求，獲得優異的刻蝕工藝結果。水冷卡盤是腔室溫度控制的核心部件。氦氣從水冷卡盤上層的氣孔進入托盤，實現藍寶石片的冷卻；同時從冷卻卡盤下層水道內通過的水流帶走刻蝕腔內的熱量，實現溫度控制。水...
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