技術編號：8558813
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。近年來，隨著世界范圍內面板產業的迅速發展，對大尺寸高精度的TFT、CF及普通面板的需求量也逐年的上升，與之對應的光罩(俗稱Mask)的需求量也在日益增加，同時更大尺寸及更高精度的面板也對Mask的制作工藝提出了更高的要求。尤其是Mask在制程及機器檢查完成后，需要工作人員在強光燈下進行目視檢查。現有目視檢查通常由I名或多名工作人員完成，工作人員佩戴無塵手套后雙手握持Mask，在強光燈下肉眼檢查外觀、臟污、缺陷等項目。然而，上述目視檢查存在很多缺陷(1)該檢...
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