技術編號：8497879
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 本發明涉及一種基于環路徑向剪切干涉術（CRSI,CyclicRadialShearing Interferometry)和偏振相移技術進行光束或光學元件產生的波前檢測的，特別 是一種非共光路環路徑向剪切偏振相移干涉儀。背景技術 基于干涉原理測量波前相位的波前傳感器，由于其空間分辨率高、測量精度高而 受廣泛關注。典型的干涉型波前傳感器有哈特曼傳感器、剪切干涉儀、點衍射干涉儀等。 哈特曼傳感器是采用微透鏡陣列對入射光束進行斜率測量，并根據測量出的波前 相位梯...
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