技術編號：8453035
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及。背景技術雖然也可應用任意的微機械構件，但是根據基于硅的構件闡述本發明和本發明所基于的問題。用于測量例如加速度、轉速、磁場和壓力的微機械傳感器裝置是普遍已知的并且以批量生產制造用于車輛領域和消費領域中的不同應用。消費電子中的趨勢尤其是構件的微型化、功能集成和有效的成本降低。現今，加速度與轉速傳感器和同樣加速度與磁場傳感器已經制造為組合傳感器(6d)，此外存在第一 9d模塊，其中在一個唯一的傳感器裝置中分別組合三軸的加速度傳感器、轉速傳感器和磁場傳...
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