技術編號：8440382
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。制作在柔性基底上的MEMS(Micro-Electro_Mechanical System，微機電系統)器件可以貼附在任意形狀及尺寸的物體表面，可以探測非平面物體表面上的剪切力、壓力、溫度和濕度等物理參數的實時分布。因此，具有良好性能的柔性基底對于傳感器件的性能非常重要。聚酰亞胺(PI，PolyimideFilm)薄膜，是一種耐高溫有機聚合物薄膜，呈黃色透明狀。它是目前世界上性能最好的薄膜類絕緣材料，具有優良的力學性能、電性能、化學穩定性以及很高的抗輻射性...
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