技術編號：8432142
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。隨著集成電路制造技術的快速發展，促使集成電路中的半導體器件，尤其是MOS(Metal Oxide Semiconductor,金屬-氧化物-半導體)器件的尺寸不斷地縮小，以此滿足集成電路發展的小型化和集成化的要求。在MOS晶體管器件的尺寸持續縮小的過程中，現有工藝以氧化硅或氮氧化硅作為柵介質層的工藝受到了挑戰。以氧化硅或氮氧化硅作為柵介質層所形成的晶體管出現了一些問題，包括漏電流增加以及雜質的擴散，從而影響晶體管的閾值電壓，進而影響半導體器件的性能。為解決...
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