技術編號：8429473
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 在等離子體處理晶片的過程中，廣泛利用靜電卡盤支撐晶片或巧盤，由靜電卡盤 提供直流高壓電，從而在卡盤及晶片之間產生靜電力，將晶片或者巧盤固定在卡盤上。為方 便了解設備運行情況及保護設備及人員安全，需要檢測靜電卡盤電源輸出電流，并設計必 要的短路保護電路等。而靜電卡盤電壓輸出電壓、低電流的特點，為電流檢測帶來一定的難 度。 如圖1所示的是現有的一種靜電卡盤用高壓電壓的電流檢測方法原理圖，通過在 電源輸出回路串聯一個采樣電阻Rs，將電流信號轉換為電壓信號，并利...
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