技術編號:8428825
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。 本發明是有關于一種微機電裝置,且特別是有關于一種具有PN界面(PN-化nction)的微機電裝置。[000引先前技術 近年來受惠于智慧型手機、平板電腦、體感游戲機等相關電子產品的帶動下,使得 微機電感測元件,例如加速度計與磁力感測計等,其市場需求均呈現逐年大幅度地成長, 因此,國際大廠皆投入大量的研究資源,W開發高性能低成本的微機電感測器。目前微機 電感測裝置最新的市場趨勢是將能供方向資訊的微機電慣性感測器與全球導航定位系統 (Global化sition...
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