技術編號：8362704
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。作為精密機械與精密儀器的關鍵技術之一——微位移技術，近年來隨著電子技術、宇航、生物工程等學科的發展而迅速發展起來。尤其隨著微電子技術向大規模集成電路和超大規模集成電路方向發展和微機械的研宄，微位移機構得到迅猛發展，并得到廣泛應用。尤其是在光學與電子工程、精密工程、航天技術、生物工程、微電子系統、納米技術等領域，人們對于精密機械和精密儀器的分辨率和精度要求越來越高，精密微位移機構作為其核心部件，它的精度極大地制約了精密機械和精密儀器的發展。另外隨著科技的發展...
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