技術編號：8324025
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 硅結晶是經常被使用在薄膜晶體管（TFT)、主動矩陣IXD和有機LED(AMOLED)顯示 器的制造中使用的一個步驟。結晶硅形成了半導體基底，其中通過傳統光刻工藝形成顯示 器的電路。通常，利用具有沿長度方向（長軸）的均勻密度分布并且具有沿寬度方向（短 軸）的均勻的或"禮帽形"的強度輪廓的長線形式的脈沖激光束來執行結晶。在該工藝中， 在相對于激光輻射脈沖的傳送源轉化基片（及其上面的硅層）的同時，玻璃基片上的非晶 硅的薄層被激光輻射脈沖重復熔化。執行特定最佳能...
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