技術編號:8300411
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及半導體,特別涉及一種。背景技術在集成電路芯片中往往會形成一些冗余電路,當制作工藝完成發現部分電路失效時,可以利用熔絲熔斷將失效電路與其他電路模塊電學隔離,并利用冗余電路替換原來的失效電路。這樣無需將對應的集成電路芯片報廢,提高了出廠成品率。目前常用的熔絲通常為兩種激光熔絲(laser fuse)和電熔絲(E-fuse)。激光熔絲是利用激光束切割熔絲,然而利用激光束切割熔絲容易會在熔絲的保護層的開口形成污染,且在切割后,通常還需要在所述開口處形成保...
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