技術編號：8217218
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 本發明涉及高分子，具體地，涉及一種重氮樹脂、光刻膠組合物及其配制 方法。背景技術 光刻膠是大規模集成電路工業中進行光刻過程的關鍵功能材料。光刻膠經紫外光 照射后，發生一系列化學反應，使得曝光前后光刻膠在顯影液中的溶解速率產生變化，再經 過顯影、堅膜、蝕刻和去膜等過程就能夠將特定的高精度圖形轉移到待加工的基板表面。 現有的重氮樹脂由于熱穩定性差，產生重氮樹脂存儲期限短，以及由重氮樹脂制 成的印刷版的存儲期限短，而無法應用于光刻膠中。發明內容 解決上述問題所...
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