技術編號:8198441
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域本發明涉及薄膜有源元件、有機發光裝置、顯示裝置、電子器件以及薄膜有源元件 的制造方法。本發明尤其涉及采用簡便的方法且微細加工性優異的薄膜有源元件、有機發 光裝置、顯示裝置、電子器件以及薄膜有源元件的制造方法。背景技術例如在專利文獻1中記載了如下技術在基于以布線為掩模的背面曝光進行自對 準來形成像素電極時,抑制背面曝光的繞入光引起的像素鄰接短路。例如在專利文獻2中 公開了如下技術在形成通道保護膜時,形成通道保護膜形成用膜,再利用以柵電極為掩模 的背面曝光,在通道保護膜形成用膜上形成有機絕緣膜。例如在專利文獻3...
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