技術編號：8186701
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域本實用新型涉及一種用于生產區熔硅單晶的大型設備，特別涉及一種用于生產氣相摻雜區熔硅單晶的區熔硅單晶爐電氣控制裝置。技術背景近幾年來，由于電子行業的飛速發展，產品需求的多元化，用于生產區熔硅單晶的設備其傳統的功能已經不能滿足多元化產品的工藝要求，尤其是區熔硅單晶爐的電氣控制部分主要采用繼電器的控制方法，該控制方法采用的是固定接線方式，一旦生產過程中有所變動，就得重新設計線路連接安裝，因此如果在原設備的基礎進行改造相當困難，而且它不能隨著產品在生產過程中對工藝的改變而改變，它的電機控制部分的控制精度和可靠性差，...
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