技術編號：8144474
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域本發明屬于半導體技術領域，是指為了生長氮化物薄膜、厚膜或者單 晶襯底材料而設計制造的一種方便易用、可控性強、可靠性和重復性高的氫化物氣相外延裝置(HVPE)，具體地說是一種獨立供應金屬鹵化物的氫 化物氣相外延裝置。背景技術氮化物多元系材料的光譜從0.7ev到6.2ev，可以用于帶間發光，顏色 覆蓋從紅外到紫外波長，不僅在光電子應用方面，如藍光、綠光、紫外光 發光二極管(LED)、短波長激光二極管(LD)，紫外探測器、布拉格反射 波導等方面獲得了重要的應用和發展，而且在微電子應用方面也得到了廣 泛的關注，可以...
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