技術編號：8137077
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域本發明實施例大體而言是有關于一種等離子體處理基材的方法及設備，更明確地說，一種具有低阻抗的射頻回流路徑的等離子體處理室及其使用方法。背景技術液晶顯示器(IXD)或平面面板常用于主動矩陣顯示器，例如計算機、觸控面板組件、個人數字助理(PDA)、行動電話、電視屏幕、及諸如此類。此外，有機發光二極管(OLED) 也廣泛用于平面顯示器。一般而言，該面板包含其間包夾一層液晶材料的兩個平板。該平板的至少一者包含至少一層設置在其上的導電薄膜，其連接至功率源。從該功率源供給該導電薄膜的功率改變結晶材料的方向，產生圖案化顯示...
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