技術編號:8127367
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域本實用新型涉及多晶硅的提純設備,具體是一種多晶硅提純用真空電子束熔煉爐。 背景技術目前全球能源緊張,太陽能需求大幅度增加,制造太陽能電池的高純度硅片的需要量也大 幅度增加。原有的提純方法主要是用硅含量大于99%的金屬硅為原料,用氣相蒸餾提純法將 其提純,再經凝固處理而獲得更高純度的硅材料。該材料主要用于半導體行業,而切片后所 余的下腳料則可作為太陽能電池的材料使用,這樣的下腳料數量有限,滿足不了生產太陽能 電池的要求。另外,該方法無法避免地產生大量的硅烷、氯化物等污染環境的物質。用于太陽能的硅材料中含有磷、...
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