技術編號：8098524
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。專利摘要本發明涉及，包括硅料分檢工序、硅料清洗工序、硅成爐料配制工序、拉晶工序和冷卻工序，其特征在于硅料的電阻率大于0.5Ω*cm，壽命高于2μS，碳含量小于2e17atom/cc；硅料的直徑大于0.5mm，在拉晶工序中的放肩操作步驟中，放的肩直徑達到40-50mm后分多次勻速將氮氣流速增大到3-4L/min；惰性氣體流速為30-40L/min。本發明的有益效果是本發明從硅料分檢為源頭開始，一直到拉晶過程結束，針對黑邊片效率低為突破口，選擇行之有效的硅料、清洗工藝，在拉晶過程中采用微氮技術，本發明的實施能有效抑制黑...
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