技術編號：8069020
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。專利摘要在用于處理氣流(12)的設備(10)中，等離子生成器(14)包括用于使源氣體通電以通過高電壓的應用來生成等離子焰(16)的電極(22)。入口(24)允許氣流(12)進入設備(10)中且將其引導到所生成的等離子(16)中。刮擦器(26)適于從退出電極(22)的第一位置往復移動到第二位置，以用于刮擦電極(22)的表面(28)以除去累積在表面(28)上的固體沉積物。專利說明用于處理氣流的設備技術領域[0001]本發明涉及用于處理氣流的設備。本發明在從用于半導體或平板顯示工業中的處理室中排出的氣流的處理中得到了具體...
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