技術編號：8068433
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。專利摘要本公開描述了用于向等離子體內電容耦合能量，從而點著并維持遠程等離子體源內的等離子體的系統、方法和設備。通過至少部分包圍第二電極或者至少部分被第二電極包圍的第一電極提供所述功率。可以使所述第二電極接地或浮置。可以將所述第一和第二電介質部件布置為使所述電極之一或兩者與所述等離子體隔開，由此使所述等離子體與所述電極之一或兩者DC隔離。專利說明靜電遠程等離子體源[0001]優先權[0002]本申請是要求2011年I月25日提交的名為“Electrostatic Remote PlasmaSource”的美國專利申請...
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