技術編號:8062852
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域本實用新型涉及硅芯制備設備技術領域,特別涉及一種硅芯爐裝料快速對中裝置。背景技術在制備多晶硅時,其工作過程就是在高溫下的高純硅芯上分解還原高純硅烷,生成氫氣和多晶硅沉積在硅芯上。硅芯一般指直徑10毫米左右,細長棒狀硅材料。區熔法制備硅芯時將原材料(較粗的硅棒)置于高頻感應線圈中,當硅棒從通有高頻電流的感應線圈中通過時,硅棒的局部區域因受感應而被加熱熔化。借助于熔硅的表面張力,在硅棒中維持一段熔化區域,此時,當硅棒相對于感應線圈移動時,熔區也隨之移動,因而形成了區熔過程。區域熔化硅棒最頂端部分,依靠上軸緩慢提...
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