技術編號:8057019
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域本實用新型屬于多晶硅生產設備領域,尤其是一種用于生產多晶硅的鑄錠爐爐體。背景技術目前多晶硅鑄錠爐,主要用于以鑄錠方式生產硅半導體材料,傳統的多晶硅鑄錠爐由爐體和爐蓋所組成,通常爐蓋位于爐體上端,電加熱器分布在爐膛的坩堝周邊,存在裝卸料不方便,電控加熱和控制系統的帶電元件下置,安全操作性能籌,爐體內隔熱體設置分布不合理,隔熱體設置過于復雜,使熔煉鑄錠多晶硅速度慢,設備使用壽命短等缺點。發明內容本實用新型的目的是針對上述技術中鑄錠爐爐體存在的隔熱體設置過于復雜的缺點,提出一種隔熱體簡單、熔煉鑄錠多晶硅速度快的鑄...
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