技術編號：8051567
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域本發明涉及等離子體加工技術領域，具體涉及一種電流傳感器、阻抗匹配器以及應用該阻抗匹配器的等離子體加工設備。背景技術射頻等離子體加工設備是利用射頻電源輸出的射頻功率使反應腔室內的氣體電離，從而在反應腔室內形成等離子體，然后利用等離子體加工器件。在實際應用過程中，負載(等離子體)的阻抗會隨腔室內氣體的成分和壓力的變化而不斷變化，從而導致負載阻抗與射頻電源的阻抗失配，這將使得傳輸線上存在較大的反射功率，從而導致射頻功率無法全部施加到反應腔室。因此，相關技術人員在射頻電源與反應腔室之間設置了阻抗匹配器。阻抗匹配器包...
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