技術編號：8046327
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域本發明涉及太陽能設備制造領域，特別涉及一種多晶硅提純鑄錠爐真空機組。背景技術多晶硅提純鑄錠爐是物理法制造多晶硅材料的主要設備，也是多晶硅提純過程エ藝除磷的關鍵設備，高溫高真空是除磷的關鍵エ藝，由于在除磷過程中加熱溫度需達到1600°C左右，所以大量的硅蒸汽和其它揮發物瞬間揮發，這就要求有高抽速的真空機組來將這些雜質抽走并將真空度保持在極高的狀態。現在的真空機組一般采用常規的真空三級泵抽真空系統，即選片泵、羅茨泵、擴散泵，由于高溫的瞬間揮發速度快，往往擴散泵達不到起動的要求，使擴散泵不能工作，極限真空度不夠，...
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