技術編號:8045039
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域本發明屬于一種高頻線圈,尤其是涉及一種可使電流均勻分布在拉制孔周圍且通過冷卻介質通道合理設置確保線圈溫度較為均衡的高頻線圈,具體涉及一種外開口的同時拉制多根硅芯或其它晶體材料的高頻感應加熱線圈結構。背景技術已知的硅芯或其它晶體材料大部分以區熔方式的加工工藝進行生產,現有的可同時生產多根硅芯及其它晶體材料的高頻線圈結構,其工作原理如下工作時通過給高頻線圈通入高頻電流和冷卻介質,其中高頻電流在高頻線圈的上下面運行,冷卻介質在環埋在高頻線圈外圍的冷卻介質通道“冷卻水道”內運行,在高頻電流流經線圈時使高頻線圈產生感...
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