技術編號：8040123
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域本發明涉及固體有機金屬化合物供給裝置。具體地，本發明涉及 能夠在室溫下以更穩定的濃度進一步增加有機金屬化合物供給量的固 體有機金屬化合物供給裝置。背景技術在化合物半導體的外延生長中，使用有機金屬化合物作為原料。 有機金屬化合物特別經常用于批量生產率和可控性優良的金屬有機化學氣相淀積法(MOCVD)中。例如，在高遷移率電子器件、高亮度光學器件、大容量光學通信 用激光、高密度記錄用激光等中，在使用溫度下呈固態的三甲基銦大 量使用。另外，當制作藍色發光元件時，使用雙環戊二烯基鎂等作為 氮化鎵的p型摻雜劑。將有機金...
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