技術編號：8039682
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域本實用新型涉及半導體清洗技術領域，特別涉及一種槽蓋。 背景技術在硅片清洗行業中，一般是通過強酸或強堿作為清洗液，在清洗過程中，不可避免的會產生一些有毒有害的氣體，為了防止這些氣體的外溢，清洗槽一般設有槽蓋，但現有技術中的槽蓋，在開啟和關閉過程中會占用較大的空間，造成空間的浪費。實用新型內容(一)要解決的技術問題本實用新型要解決的技術問題是如何提供一種占用空間小的清洗槽蓋。( 二 )技術方案為解決上述技術問題，本實用新型提供了一種槽蓋，安裝在槽體上，包括蓋板、連接框架、固定板和豎直活動裝置，所述連接框架設置在...
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