技術編號：8032876
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域本發明涉及等離子體源。更具體而言，本發明提供了在等離子體減量(abatement)系統中有用的實施方式，盡管本發明并不限于這些系統。穩定等離子體的存在需要一定的物理條件。然而，即便是存在那些條件，等離子體也可不自發點火。該現象的實例是眾所周知的，例如，空氣弧焊機需要“射頻啟動”。另一種已公知的等離子體點火技術包括使用特斯拉線圈感應“電火花”點火器。然而，那兩種技術均包括在等離子體反應腔中使用金屬部件，這可能是不利的。在微波泵送系統的情況下，發現這種金屬部件使等離子體“接地”且導致其不穩定。其它用以使等離子體...
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