技術編號：8020105
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域本發明涉及。背景技術 近年來，逐漸開發出采用液相法作為電子設備的制造方法的設備。例如，專利文獻1～3中公開了在基體上通過液滴噴出法配置有機EL裝置的形成材料(空穴注入材料、發光材料)的技術。圖15是用于說明采用液滴噴出法的膜形成方法的說明圖。如圖15所示，以往的膜形成方法中，首先在形成膜F的區域的周圍形成隔壁B(圖15(a))。并且，將該隔壁B的表面通過CF4等離子體處理進行疏液性加工后，在由隔壁B區劃出的區域上噴出包括功能性材料的液體材料L。并且，通過將該液體材料L進行干燥，來析出功能性材料的膜F(圖15...
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