技術編號：8010659
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域本發明屬于等離子體應用的領域，較具體地涉及材料等離子處理的方法和裝置。本發明可用于化學、電子、機械制造、儀表制造、治金等工業，農業，醫學，用來對分散成微粒的材料、氣懸體、各種化合物的蒸汽或氣體混合物進行等離子熱處理或等離子化學處理，例如在材料合成或改變其性質的場合。此外，本發明還可用作制品表面的等離子處理，例如用粉末噴涂、或用各種化合物薄膜的蒸汽沉積、或對零件表面進行等離子化學侵蝕。已知的用等離子處理材料的方法(日本專利JP，A，59-3838號)是選好受處理材料的輸送方向，把對稱軸線定在這個方向上，建立一...
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