技術編號：7751047
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及固態成像裝置以及用于制造該固態成像裝置的方法，并涉及包括該固 態成像裝置的成像設備。背景技術目前，已經對固態成像裝置的靈敏度的提高提出了各種建議。一種建議涉及一種 波導結構，其中直接形成在光接收單元上方的孔被填充有高折射率材料(參考日本未審查 專利申請公開號 11-121725，10-326885，以及 2005-294749)。圖5是包括波導結構的固態成像裝置的示例的示意性視圖。光接收單元(光電二 極管)52形成在由諸如硅襯底之類的半導體襯底5...
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