技術編號:7606534
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明通常涉及薄膜體聲波(bulk acoustic wave)濾波器,并具體而言,涉及移動電話機前端中的體聲波濾波器。背景技術已知體聲波(BAW)設備通常由夾在用作電極的兩個電導層之間的壓電層構成。當在所述設備上施加射頻(RF)信號時,在壓電層中產生機械波。當機械波的波長大約是壓電層厚度的兩倍時,發生基本諧振。盡管BAW設備的諧振頻率還取決于其它因素,但是壓電層的厚度是確定所述諧振頻率的主要因素。當減小該壓電層的厚度時,所述諧振頻率增加。BAW設備傳統上...
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