技術編號：7568927
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及一種根據權利要求1前序部分的用于制造灰度(grey-shade)模版的方法，即在其中以邊緣為限界并在其上疊加了灰度格的圖案被轉移到對射線敏感的基層上的方法。這種灰度模版也被稱為半灰度模版。一種所述類型的方法已公開在US4350996中。在該方法中，以邊緣為限界并在其上疊加了灰度格的圖案被轉移到對射線敏感的基層上，該基層以膜的形式設置在那里，以便產生灰度模版。一種空板，例如一個覆蓋了對射線敏感的層的屏可通過該膜在大區域上被曝光，以便獲得灰度模版。本...
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