技術編號：7532393

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本發(fā)明涉及壓電器件，尤其涉及具有密封腔的壓電器件。目前，有一類表面聲波(SAW)濾波器在手持無線電設備領域被廣泛用作RF濾波器及其類似的濾波器。壓電濾波器由一個或多個能造得小而輕的壓電諧振器組成，從而使它在小型便攜式通信裝置中特別有用。另一類為體聲波(BAW)諧振器濾波器，它的體積更小且有可能被集成到IC制造工藝中。這些壓電諧振器很靈敏且必須被形成在一個相對堅固的襯底上。然而，為了能使壓電諧振器正確工作，它必須與襯底退耦合，否則襯底將衰減需要的諧振或振蕩。...
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