技術編號:7486846
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及線性電動機,特別是涉及具有冷卻無鐵芯線圈的冷卻管的無鐵芯交流線性電動機。背景技術 無鐵芯線性電動機因為沒有由鐵心起因的齒槽效應,適合于有必要精密的定位的工作機械、半導體裝置。日本特許公開公報10-23735號公開了具有冷卻無鐵芯線圈的冷卻管的無鐵芯交流多相線性電動機。其線性電動機的移動子包括用于形成磁性間隙而在磁鐵板上配置的永久磁鐵,固定子包括在移動方向配置成1列的U相、V相、W相的無鐵芯線圈。銅制的圓形管狀的2個冷卻管穿過各無鐵芯線圈的空心孔。...
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