技術(shù)編號：7468577

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本實用新型屬于微電子機械領(lǐng)域，特別涉及能在微型芯片上實現(xiàn)大的垂直位移驅(qū)動的一種MEMS的微型壓電驅(qū)動器。背景技術(shù)隨著科學技術(shù)的進步，電子、機械等系統(tǒng)向著小型化、微型化方向發(fā)展，芯片的高密度、多功能、智能化集成成為人們研究的重要方向。近十幾年來，以大規(guī)模集成電路制造技術(shù)和微機械加工技術(shù)獨有的特殊工藝為基礎(chǔ)，實現(xiàn)微型機械結(jié)構(gòu)、微型執(zhí)行器、微電子器件和電路系的多功能集成，形成所謂的微電子機械系統(tǒng)(MicroElectroMachanical System，簡稱M...
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