技術編號：7432413
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及線性電動機及元件移載裝置，特別是涉及使可動部相對于底板進行直 線移動的線性電動機及使用該線性電動機的元件移載裝置。背景技術線性電動機的用途以用于制造搬送電子元件等元件的元件移載裝置、半導體裝 置、液晶顯示裝置等制造裝置等為中心年年擴大，特別是近年薄型高性能的線性電動機的 需求高。為了滿足這樣的需求，例如公開了具有如圖18及19所示結構的線性電動機LM的 方案(非專利文獻1)。圖18及19是表示以往的線性電動機的一個例子的圖，其中，圖19是沿圖18...
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