技術編號：7420094
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及的是一種連續納米精度位移驅動方法，特別是一種，屬于納米。背景技術 納米技術依賴于納米精度驅動、定位、位移測量及相關加工技術與設備。實現連續的納米位移是納米加工、操縱、測量等領域的關鍵技術。納米位移驅動器在納米加工、光通信、航海、航天、天文、光學等廣泛的領域具有重要應用。采用傳統的步進馬達原理和技術，要實現無振動及重復精度的納米運動是不可能的。經對現有技術的文獻檢索發現，2001年美國專利號為US61948811，名稱為Drive apparatu...
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