技術編號：7335939
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及一種帶氣浮導軌的永磁直線同步電機，屬于直線電機。 背景技術永磁直線同步電機驅動的XY氣浮工作臺，在半導體光刻、PC板檢查和鉆孔、晶片處理加工、離子注入、電子裝配及坐標測量等精密伺服領域具有廣泛的應用。作為XY氣浮工作臺的驅動電機，永磁直線同步電機具有大慣性、高速度、高精度及大推力等特點，同時， 電機的溫升也能夠實現良好的控制，以阻止電機的銅耗散熱到外界環境，影響整個系統的分辨率。與驅動XY氣浮工作臺運動所用的無鐵芯永磁直線電機相比較，動電樞型永磁...
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