技術編號：7263284
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。一種激光束熱處理設備，其包括襯底支承件、激光束輻照器、攝影單元以及位置調整器，其中襯底支承件被配置為支承形成有硅層的襯底，激光束輻照器被配置為將激光束輻照在硅層上，攝影單元被配置為獲取與襯底的至少一部分有關的數據，位置調整器被配置為基于由攝影單元所獲得的數據調整襯底支承件或激光束輻照器中的至少一個的位置。專利說明 [0001] 相關申請的交叉引用[0002] 本申請要求于2013年3月18日在韓國知識產權局提交的第10-2013-0028818號 韓國專利...
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