技術編號：7255025
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及一種適用于大氣壓爐的新型石英舟，在原有基礎上增設了位于第一槽桿與第二槽桿之間、第一槽桿與第三槽桿之間的兩個輔助支桿，并至少在第二槽桿和與之相鄰的一個輔助支桿之間，和第三槽桿和與之相鄰的另一個輔助支桿之間分別設置了多個支撐條，以延長石英舟在爐內高溫環境下的形變周期，防止硅片掉落損壞設備的情況發生，提高了生產效率，降低了生產成本。專利說明—種適用于大氣壓爐的新型石英舟[0001]本發明特別涉及用以在大氣壓爐中固定硅片的石英舟的一種新型結構。背景技術[...
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