技術編號：7237086
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明公開了一種具有門縫打開和關閉裝置的處理室。 背景技術處理室是已知的。然而，它們存在著各種缺點。 發明內容本發明用于解決現有技術中的各種缺點。為此，本發明提供一種具有門縫打開和關閉裝置的處理室，其 包括室本體；形成于室本體的壁中的門縫，基片由此裝載入室本 體和從室本體中卸載；至少一個內門，所述內門可旋轉地安裝在門 縫的相對開口中的內開口處以便打開和關閉內開口；以及旋轉所述 至少 一 個內門以便打開和關閉內開口的門驅動機構。優選地，還包括止動件，其限制所...
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