技術編號：7228230
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及的是一種微加工的制造方法，具體是一種微機電系統的 永磁體微結構集成的制造方法。技術背景基于電磁作用原理的微驅動器是微機電系統(MEMS)常用的驅動部件之一， 各種電磁MEMS器件如電磁微馬達、電磁微執行器、電磁驅動的微泵、電磁型微開 關、磁敏微傳感器、電磁驅動微系統等受到了廣泛重視和系統研究，這一類微器 件和微系統被統稱為磁性MEMS 。在眾多的磁性MEMS器件和系統中，磁性材料發揮著關鍵作用。包括軟磁和永 磁材料，為了適應器件和系統微型化的整體...
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