技術(shù)編號：7224927

提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。

本發(fā)明涉及對非晶半導(dǎo)體膜的表面照射來自固體激光器光源的激光而使非 晶半導(dǎo)體膜多晶化的激光退火方法以及激光退火裝置。 背景技術(shù)在半導(dǎo)體、液晶領(lǐng)域中，在薄膜晶體管(TFT)的制造工序中，為了提高載 流子的遷移率，進行如下的激光退火對形itt寂及上的非晶磡莫(下面稱為a —Si膜)照射激光束，使其烙融、固化，并使其再結(jié)晶化，從而形成多晶硅。該激光退火中，采用光學(xué)系統(tǒng)將從激光器光源射出的脈沖激光加工成截面 細長的矩形光束， 一邊使該矩形光束在基板上的a—Si膜上在...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。

詳細技術(shù)文檔下載地址↓↓

提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。

該分類下的技術(shù)專家--如需求助專家，請聯(lián)系客服

• 賀老師：氮化物陶瓷、光功能晶體材料及燃燒合成制備科學(xué)及工程應(yīng)用
• 楊老師：工程電磁場與磁技術(shù)，無線電能傳輸技術(shù)
• 許老師：1.氣動光學(xué)成像用于精確制導(dǎo) 2.人工智能方法用于數(shù)據(jù)處理、預(yù)測 3.故障診斷和健康管理
• 王老師：智能控制理論及應(yīng)用；機器人控制技術(shù)
• 李老師：1.自旋電子學(xué) 2.鐵磁共振、電磁場理論
• 寧老師：1.固體物理 2.半導(dǎo)體照明光源光學(xué)設(shè)計實踐 3.半導(dǎo)體器件封裝實踐
• 楊老師：1.大型電力變壓器內(nèi)絕緣老化機理及壽命預(yù)測 2.局部放電在線監(jiān)測及模式識別 3.電力設(shè)備在線監(jiān)測及故障診斷 4.絕緣材料的改性技術(shù)及新型絕緣材料的研究
• 王老師：1.無線電能傳輸技術(shù) 2.大功率電力電子變換及其控制技術(shù)