技術編號：7224806
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及一種燃料電池及制造一種集成燃料電池的方法。 背景技術圖1表示通過微電子技術形成的集成燃料電池的示例。上述電池形成在由第一薄絕緣層2和第二厚絕緣層3覆蓋的硅晶片l形成的支撐晶片上。在絕緣 層3的一部分上形成開口。支撐層4、催化層5、電解質層6和第二催化層7 相繼沉積在上述開口。所有上述層形成活性疊層8。第一絕緣層2上的電極10 與燃料電池底面一側的支撐層4接觸。第二絕緣層3中的開口 ll接近電極lO。 上電極12與上催化層7接觸。電極10和12具有...
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