技術(shù)編號(hào)：7214431

提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。

本發(fā)明涉及輻射系統(tǒng)和包括輻射系統(tǒng)的光刻設(shè)備。具體地，本發(fā)明涉及用于產(chǎn)生輻射束的輻射系統(tǒng)，其包括產(chǎn)生EUV輻射的脈沖EUV源。背景技術(shù) 光刻設(shè)備是將所需圖形施加到襯底上，通常為襯底的目標(biāo)部分上的機(jī)器。例如，光刻設(shè)備可以用于集成電路(IC)的制造中。在這種情況下，可稱為掩模、標(biāo)線(reticle)等的構(gòu)圖裝置可以用于產(chǎn)生將形成在IC單層上的電路圖形。該圖形可以轉(zhuǎn)移到襯底(例如，硅晶片)上的目標(biāo)部分(例如，包括一個(gè)或幾個(gè)管芯的部分)上。通常通過在提供于襯底上的輻...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。

詳細(xì)技術(shù)文檔下載地址↓↓

提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。

該分類下的技術(shù)專家--如需求助專家，請(qǐng)聯(lián)系客服

• 賀老師：氮化物陶瓷、光功能晶體材料及燃燒合成制備科學(xué)及工程應(yīng)用
• 楊老師：工程電磁場(chǎng)與磁技術(shù)，無線電能傳輸技術(shù)
• 許老師：1.氣動(dòng)光學(xué)成像用于精確制導(dǎo) 2.人工智能方法用于數(shù)據(jù)處理、預(yù)測(cè) 3.故障診斷和健康管理
• 王老師：智能控制理論及應(yīng)用；機(jī)器人控制技術(shù)
• 李老師：1.自旋電子學(xué) 2.鐵磁共振、電磁場(chǎng)理論
• 寧老師：1.固體物理 2.半導(dǎo)體照明光源光學(xué)設(shè)計(jì)實(shí)踐 3.半導(dǎo)體器件封裝實(shí)踐
• 楊老師：1.大型電力變壓器內(nèi)絕緣老化機(jī)理及壽命預(yù)測(cè) 2.局部放電在線監(jiān)測(cè)及模式識(shí)別 3.電力設(shè)備在線監(jiān)測(cè)及故障診斷 4.絕緣材料的改性技術(shù)及新型絕緣材料的研究
• 王老師：1.無線電能傳輸技術(shù) 2.大功率電力電子變換及其控制技術(shù)