技術編號:7211310
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及一種堆疊電容,尤其涉及一種適用于半導體集成電路中的 設計、制造等相關領域的耦接電容結構及其制造方法。 背景技術在現在的EEPROM (Electrically Erasable Porgr纖able ROM,電 擦除可編程的只讀存貯器)/E-Flash等工藝中,多晶硅一絕緣層一多晶 硅(PiP Poly-Insulator-Poly)電容和晶體管電容(MOS-C)結構都已廣泛 被作為電容器件使用,但是, 一般情況下PiP電容會被獨立形成在場區, ...
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