技術編號:7208627
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。背景技術雙極靜電卡盤常用于半導體晶片制造。在制造過程中,這些卡盤采用靜電力固定半導體晶片。久而久之,卡盤出現使用引起的磨損,性能下降。參照圖1A-1B和圖2A-2B,描述了示例性靜電卡盤。圖IA示出示例性靜電卡盤100正面102的平面圖。正面102具有固定凸緣104 和上表面106。如圖IB所示,上表面106高于固定凸緣104。使用過程中,固定凸緣104被用于固定靜電卡盤100。固定凸緣104可具有固定孔(未示出)以在使用過程中固定靜電卡盤100。可用任何...
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