技術編號：7207296
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。柱的三角形二維互補圖案形成相關專利申請的交叉引用本申請要求于2008年6月30日提交的美國專利申請12/216，109的權益，其全文 通過引用合并與此。背景技術本申請一般地涉及制造半導體器件的方法，更具體地，涉及制造半導體柱狀結構 的方法。由半導體材料制成的器件用于產生電組件和系統的存儲電路。存儲電路是這類器 件的中樞，因為數據和指令組被儲存在其中。最大化此類電路上的每單位面積的存儲元件 數量可最小化其成本并因此是此類電路的設計的首要動機。由于在半導體晶片...
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